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面精度、反射波面、透過波面の測定が可能です。測定は光（He-Neレーザ光）の干渉作用を利用した干渉計にて行ないます。
波面測定には 汎用のフィゾー型干渉計 zygo GPI4 XP を使用しています。
開口径は 100mmです。測定波長は633nm。測定再現性は λ/100 です。
同じ定盤上には精密レーザ測長器 zygo ZMI1000 が設置されています。
干渉計と測長器とを組みあわせて使用することにより、 球面レンズの曲率半径測定を高い再現性で行うこともできます。
