納入品の品質管理は、メーカとしてのジェネシアの根幹に関わる重要な業務です。 製品がお客様の仕様に沿った機能・性能を有していることを確認するために、ここで紹介する高精度の光学測定機器/機械測定機器を駆使しています。
Zygo社製のフィゾー型干渉計 GPI/XP です。開口径はφ100mm。測定波長は633nm。測定再現性は λ/100 です。 同じ定盤上には精密レーザ測長器 zygo ZMI1000 が設置されています。 干渉計と測長器とを組みあわせて 使用することにより、球面レンズの曲率半径測定を高い再現性で行うこともできます。
ジェネシアでは、この干渉計システムによる測定結果を社内ネットワーク経由で設計部門に転送し、製品の品質管理やコンペンセータの適切な設定に利用しています。
ドイツ・Trioptics社製のOptiCentric MOT Dualです。有効径φ1mm～200mm、20kgまでの組レンズについて、各面の透過偏芯、反射偏芯を測定できます。 測定原理はオートコリメーション法です。偏芯測定の絶対精度は0.2μm以下、再現性は0.1μm以下です（いずれも1面当たりの標準偏差値）。 各面がどの向きに、どのように偏芯しているかを任意の面を基準として 把握することができるため、組レンズの調整作業が効率的に行えます。
組立・調整作業のほかにも、ジェネシアではこの偏芯測定機による測定結果を設計部門に転送し、製品の品質管理に役立てています。
英国EARING Electro-Optics社製の Solid Stage EROS です。MTF（Modulation Transfer Function）は、光学システムの特性を評価する指標のひとつです。 物体が持つコントラストを、どの程度忠実に像として再現できるかを空間周波数特性として表現します。
MTFのデフォーカス特性を測定するための精密駆動軸の他、軸外MTFを測定するための駆動軸もあります。
日本分光製のV560。検出器には光電子増倍管とPbS検出器が採用され、紫外領域(190nm)から 近赤外領域(2500nm)までを連続測定可能なダブルビーム型の自記分光光度計です。 モノクロメータ部はシングル構成のため、透過率及び反射率の低いサンプルも高いS/Nで 測定できます。
(1) 透過測定ユニット
(2) 反射測定ユニット
(3) サンプルを -130℃ に冷却可能な冷却真空ユニット
(4) 屈折力をもった光学系のための大型試料室
異形の散乱体試料にも適用可能
メレスグリオ社製の 13SKP503 。ナイフエッジ法(スリット法) によるビームプロファイラです。
ビーム断面を 傾角の異なる7枚のスリットが連続的にスキャン。その信号をコンピュータがトモグラフィックに処理 してビーム形状を求める "光CTタイプ" の計測機で、実効分解能は 1μｍオーダ(ビーム径による)。
測定可能な 最大ビーム径は φ9mm。波長 370nmから 1100nmに対応しています。
カメラタイプのプロファイラが、CCDのピクセルサイズやフォーマットサイズで検出像サイズが限定されるのに対して、13SKP503はサイズのダイナミックレンジが広い事が特長です。
レーザやファイバのモード、レンズのPSF(点像分布関数)の実測の他、ビーム位置(の変化)、パワー計測などに使っています。
伝統的な教科書には必ず掲載されている ドイツ Askania社製のベンチに搭載した口径200mm、焦点距離2000mm のコリメータです。
光検出部には軸外光学特性の測定用にゴニオメータが搭載されています。デフォーカス軸、 シフト軸はデジタルマイクロを装備。
完全手動のこのコリメータは汎用性が高く、光源部のバンドパスフィルタの交換により可視・近赤外領域における ほとんどの光学系にとって十分な平行度をもった任意の単色光を中心遮蔽なく生成できます。
倍率法・ノーダルスライド法による焦点距離測定、収差量の測定、光学系/光検出器のアライメントなど多岐に渡って活用しています。
このほか、ニコン社製のオートコリメータ 6D もあります。
ジェネシア製の配光分布/散乱分布測定機です。
内蔵されたゴニオメータにサンプルとなる光源や ファイバ、散乱シートなどをセットすれば、迷光除去用の絞りを持った受光光学ユニットが極座標に 沿って移動し配光分布(散乱分布)を測定します。
散乱測定の場合には、任意の方位からサンプルを照明できます。
測定結果は "LightTools"の光源モデル/散乱モデルファイルとして出力できます。
この測定機は、照明光学系の設計信頼性を著しく向上するためにたいへん有効です。
また、インジケータや 自照ランプ等の試作品の評価(品質管理)にも不可欠な装置です。
ジェネシア製の非球面形状測定機です。
製品の品質管理用の測定機です。
被検査面の面形状(サグ)を多点測定するという意味では、通常の輪郭形状測定機と 同様ですが、
その後、(1) 面の中心曲率半径、(2) 円錐係数、(3)高次非球面係数 に分けてパラメータフィッティングを 行い、収差成分への影響度を評価する機能を持っています。
測定結果は統計処理によって、金型修正情報や、生産パラメータ情報等として出力されます。また、レンズ設計CADへの フィードバック用ファイルも出力できます。
ジェネシアが入居している『三鷹産業プラザ』の地下には精密測定機があります。 そこに設置されている 輪郭形状/表面粗さ測定機、東京精密社製の Surfcom 1800D です。光学部品の形状や、面粗さの測定に活用しています。
ジェネシアが入居している『三鷹産業プラザ』の地下には精密測定機があります。 そこに設置されている 三次元座標測定機、東京精密社製の RVA-800A です。部品形状の真円度や平行度、 あるいは穴の位置関係などを1μm以下の分解能で測定可能です。
製品の品質管理や各種試験のため、ジェネシアはさらに次の機器を設備しています。
| 金属顕微鏡 / 実体顕微鏡 | オリンパス製 BX50システム ニコン製 SMZ |
| 天体望遠鏡 | 高橋製作所製 ミューロン 250 , EM-200 |
| モノクロメータ | 島津製作所製 SPG-100IR |
| 照度計 | コニカミノルタ製 T10M |
| パワーメータ | gentec社製 Series-310 Ophir社製 NOVAⅡ(各種プローブ付) |
| CCDカメラ | ソニー製 XC-7500 ビットラン社製 BJ-32L (冷却CCD) |
| フレームグラバ | サイバーテック製 CT-3000A |
| IRスコープ | 浜松ホトニクス製 C2250 |
| プログラマブル恒温槽 | ヤマト科学製 IN602 (ネットワーク対応済み) |
| 温度コントローラ | LakeShore製 330 Autotuning |
| ターボポンプ | RFEIFFER製 |
| 極低温冷凍機 | 岩谷瓦斯製、クライオミニ |
| オシロスコープ | LeCroy社製 WaveRunner2 岩通計測製 SS-7802A |
| デジタルマルチメータ | ADVANTEST製 R6552 |
| ファンクションジェネレータ | Agilent製 33120A |
| プリント基板作成装置 | LPFK-AG製 Proto-Mat C40 |
| 大型真空デシケータ | 新光化成製 V-45 |
| その他 | レーザ光源 、光学的歪み検査器 、光学定盤 、 各種ステージ 、スタンド、電源 デジタルノギズ、マイクロメータ、校正ゲージ等 |
