ジェネシアの社内測定機を お客さまのサンプル測定のために開放しています。
面形状/歪み/曲率半径の測定サービスです。 結果は、Zygo Metro-Pro所定 の出力 (波面収差・PSF・MTF・Zernike係数など)を 基本としますが、ご相談により、CodeV等のソフトウェアでそのまま利用可能な面形状パラメータへのフィッティングの上で、納入します。
| 基本料金 | １案件につき \50,000- |
| 追加費用 | 測定時間が3時間を越える案件の場合、測定に要する時間や難度、データの取りまとめの方法などに応じてお見積もりを差し上げます。 目安として 作業 1時間あたり1万6000円です。 測定内容によっては、専用に治具を製作しなくてはなりません。この場合は実費をお願いします。 |
190nm - 2500nm / 透過率については、常温だけでなく 極低温環境 (真空・100K) でも測定できます。
| 基本料金 | １測定につき \30,000-(常温における平板の透過・反射測定の場合) |
| １案件につき \250,000-(270K - 130K の範囲で任意に設定した場合/透過測定のみ） | |
| 追加費用 | 専用に治具を製作する必要のある場合は、実費をお見積もりします。 |
結果は曲座標系の方位（θ,φ) における光強度をテーブルにした CSV形式ファイル、もしくは LightTools の光源モデル形式ファイルで提供いたします。
| 基本料金 | \50,000- |
| 追加費用 | １試料あたり + \20,000- １測定あたり + \8,000～ |
透過散乱／反射散乱のいずれも測定可能です。照射光の入射角もご指定頂けます。 結果は、曲座標系の方位（θ,φ) における散乱光強度をテーブルにした エクセルの CSV形式ファイルで提供いたします。
| 基本料金 | \50,000- |
| 追加費用 | １試料あたり + \20,000- １測定あたり + \8,000～ |
"1測定"とは、透過・反射の別、照射光入射角、散乱光測定間隔について、ご指定いただいた１組の条件で測定することをいいます。
