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オフセットした凹凸放物面で構成した全反射タイプの ビームエキスパンダです。 入射ビームは φ100mm , 射出ビームは φ10mm。 ビームの拡大率は10倍。 波面のパータベーションはλ/14(PV) , λ/110(RMS) at 633nmです。
ミラーは合成石英製 , 構造材はミラーと同程度の低膨張材を採用しています。
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