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理化学研究所との共同研究により、非接触3次元測定機を開発した事例です。 従来の並列型3次元測定機に比較して、大きな傾斜角を含む表面の測定機優位という特長を発揮します。 並列型の共焦点マイケルソン干渉計として構成しています。非接触３次元顕微測定機として機能します。
■ 並列型３次元測定機の原理
■ 測定例
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